智能家居必備的集成傳感器與MEMS

   現在基本的家居智能傳感器集成傳感器，集成傳感器是一種半導體敏感元件，在芯片上制作測量處理電路，利用集成電路技術，使用成本低廉的小傳感器。

 

    與集成電路技術和微機械加工方法的使用，機械和電氣部件的各種物理效應和基于集成在一個芯片處理電路敏感，使微機電系統（Micro－Electro－MechanicalSystems，MEMS）傳感器。

 

    智能家居必須理解傳感器與MEMS的集成

 

    傳感器的傳感結構可以是微米或亞微米的，可以批量生產。它具有體積小、重量輕、響應快、靈敏度高、成本低等優點。

 

 

    中國的MEMS產業處于世界領先地位，包括美國Mars的火車已經發明了我們中國的傳感器，如MEMS加速度計和壓力傳感器已廣泛應用于汽車工業，作為智能家居的一個以上的傳感器提供一個典型的應用是MEMS。

 

    MEMS不僅依賴于電子技術，還依賴于機械加工技術。

 

    智能家居必須理解傳感器與MEMS的集成

 

    集成電路技術、微細加工技術等新技術和新技術的發展為傳感器的集成化和小型化提供了可能性。微細加工技術制成的微米尺寸的敏感元件，利用各向異性刻蝕，犧牲層技術和LIGA技術（如光刻、電鑄和注塑成型），可以創建一個三層的微觀結構有很大的差異，包括移動的隔膜、懸臂梁、橋、槽、孔、錐。

 

    采用靈敏的結構和檢測電路的單片集成技術，避免了引線芯片在多芯片組件中引入的寄生效應，提高了器件的性能，提高了抗干擾能力。微電子和微傳感器的微機械加工技術產生的包裝系統的使用，與傳統的傳感器相比，具有體積小、重量輕、成本低的優點，功耗低，可靠性高，適用于大批量生產，該智能功能，易于集成和實現，在智能家居有決定系統的一部分。